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多层复合电沉积磁屏蔽薄膜屏蔽效能
作者姓名:宫剑  徐常有  王东红  姚琪  王喆
作者单位:1.The 33rd Research Institute,China Electronic Technology Group Corporation,Taiyuan Shanxi 030000,China;2.Key Laboratory of Electormagnetic Protection Materials and Technology of Shanxi Province,Taiyuan Shanxi 030006,China
基金项目:高屏效梯度结构磁性薄膜设计及工艺技术(国际科技合作方面)项目资助(201803D421077)
摘    要:利用电沉积法制备磁屏蔽薄膜,不仅可以精确控制沉积膜的化学成分和厚度,而且可以在复杂几何形状的表面上形成薄膜。通过电沉积装置制备了铁镍-铜-铁镍多层复合磁屏蔽薄膜,并探究了磁场强度、厚度、高温环境对磁屏蔽薄膜屏蔽效能的影响。实验结果表明,50 μm和100 μm样品的屏蔽效能随磁场强度的增大而增大,200 μm的屏蔽效能则是先增大后降低;在4~16 Oe磁场中,厚度越大,薄膜屏蔽效果越好;100 ℃的温度会降低所有厚度的磁屏蔽薄膜的屏蔽效能。

关 键 词:磁屏蔽  铁镍合金  电沉积  屏蔽效能  微结构
收稿时间:2019-04-17
修稿时间:2019-06-03
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