| 微型电光探针的研制 |
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| 引用本文： | 李海兰,贾刚,张晓婷,周志雄,陈占国.微型电光探针的研制[J].半导体学报,2002,23(10):1098-1101. |
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| 作者姓名： | 李海兰 贾刚 张晓婷 周志雄 陈占国 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;69676025,69976013; |
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| 摘 要： | 介绍了用湿法化学腐蚀的方法制备GaAs晶体微型电光探针.用光学显微镜和扫描电子显微镜观察了探针形貌.微探针为金字塔形,底座是边长为20μm的正方形,尖端尺寸在2μm左右.侧面比较光滑,棱角分明.微型电光探针整体尺寸很小,在外电光检测系统中可以显著降低对被测电场的影响,从而提高测量精度.
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| 关 键 词： | 湿法腐蚀 电光检测 电光探针 |
| 文章编号： | 0253-4177(2002)10-1098-04 |
| 修稿时间： | 2002年1月13日 |
Research on Tiny Electro-Optic Probe |
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| Li Hailan,Jia Gang,Zhang Xiaoting,Zhou Zhixiong and Chen Zhanguo.Research on Tiny Electro-Optic Probe[J].Chinese Journal of Semiconductors,2002,23(10):1098-1101. |
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| Authors: | Li Hailan Jia Gang Zhang Xiaoting Zhou Zhixiong and Chen Zhanguo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | wet etching electro-optic detection electro-optic probe |
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