| 集成电路装备集成化研发平台 |
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| 引用本文： | 武园浩,田凌.集成电路装备集成化研发平台[J].计算机集成制造系统,2013,19(9). |
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| 作者姓名： | 武园浩 田凌 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国家科技部重大专项资助项目(2011ZX02403).Project supported by the National Natural Science Foundation |
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| 摘 要： | 针对集成电路装备研发中的数据集成、应用集成与知识集成问题,设计了集成电路装备集成化研发平台.该平台遵循一切皆为服务的设计原则,使用服务构建应用系统,对产品数据的访问也被封装为统一的数据访问服务供外界调用.给出了集成电路装备集成化产品组件数据视图,并融合数据空间技术完成了异构数据的形式化数据资源建模.给出了基于本体的知识项统一描述方式,在此基础上实现了基于知识推送的知识应用模式.介绍了自主开发的集成电路装备集成化研发平台,并结合PECVD设备中喷淋头的设计,验证了平台的有效性.
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| 关 键 词： | 集成电路装备 集成平台 服务 数据空间 知识描述 |
Integrated development platform of integrated circuit equipment |
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| WU Yuan-hao
,
TIAN Ling.Integrated development platform of integrated circuit equipment[J].Computer Integrated Manufacturing Systems,2013,19(9). |
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| Authors: | WU Yuan-hao TIAN Ling |
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