| 日盲雪崩探测器滤波膜系的优化设计及器件性能的影响 |
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| 引用本文： | 董可秀,石建平,程学彩,汪俊,张阳熠.日盲雪崩探测器滤波膜系的优化设计及器件性能的影响[J].光电子．激光,2015,26(12):2283-2287. |
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| 作者姓名： | 董可秀 石建平 程学彩 汪俊 张阳熠 |
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| 作者单位： | 滁州学院 电子与电气工程学院,安徽 滁州 239000;安徽师范大学 物理与电子信息 学院,安徽 芜湖 241000;滁州学院 电子与电气工程学院,安徽 滁州 239000;滁州学院 电子与电气工程学院,安徽 滁州 239000;滁州学院 电子与电气工程学院,安徽 滁州 239000 |
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| 基金项目： | 安徽高校自然科学研究重点(KJ2015A153)、中科院微细加工光学技术国家重点实验室开放基金(KFS2015)、国家“973”项目 (2012CB619306,1CB301900)和滁州学院科研启动(2014qd024)资助项目 (1滁州学院 电子与电气工程学院,安徽 滁州 239000； 2.安徽师范大学 物理与电子信息学院,安徽 芜湖 241000) |
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| 摘 要： | 利用传输矩阵法设计了空气与基本膜系之间具 有3个周期减反膜结构的日盲紫外探测器滤波膜系,并利用半导体 器件仿真软件Atlas分析集成了滤波膜系的GaN/AlGaN异质结雪崩光电探测器(APDs)的光 电性能。研究结果表明,相对 无减反射膜的滤波膜系,本文设计的膜系明显提高了光在日盲区的透过率及截止区的反射率 ,使GaN/AlGaN APDs有更 加平滑的光谱响应曲线、更大的响应度、更陡峭的响应截止边频及更好的滤波性能；同时, GaN/AlGaN APDs比传统AlGaN APDs 更有利于光生空穴的注入,使GaN/AlGaN APDs的最大光谱响应度及紫外/可见抑制比较传统的 APDs提高超过300%。
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| 关 键 词： | 日盲紫外滤波膜系 GaN/AlGaN 雪崩光电探测器(APDs) 光谱响应 紫外/可见抑制比 |
| 收稿时间： | 2015/10/12 0:00:00 |
Optimum design of solar-blind filter film and the effects on avalanche photodio des |
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| DONG Ke-xiu,SHI Jian-ping,CHENG Xue-cai,WANG Jun and ZHANG Yan-yi.Optimum design of solar-blind filter film and the effects on avalanche photodio des[J].Journal of Optoelectronics·laser,2015,26(12):2283-2287. |
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| Authors: | DONG Ke-xiu SHI Jian-ping CHENG Xue-cai WANG Jun and ZHANG Yan-yi |
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| Affiliation: | School of Electronic and Electrical Engineering,Chuzhou University,Chuzh ou 239000,China;College of Physics and Electronic Information,Anhui Normal U niversity,Wuhu 241000,China;School of Electronic and Electrical Engineering,Chuzhou University,Chuzh ou 239000,China;School of Electronic and Electrical Engineering,Chuzhou University,Chuzh ou 239000,China;School of Electronic and Electrical Engineering,Chuzhou University,Chuzh ou 239000,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | solar-blind filter film GaN/AlGaN avalanche photodiodes (APDs) spectral respo nsivity ultraviolet/visible rejection ratio |
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