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| 用PCVD法在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AIN薄膜的研究 | |
| 引用本文： | 潘应君,陈淑花,张细菊,吴新杰.用PCVD法在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AIN薄膜的研究[J].金属热处理,2004,29(12):20-22. |
| 作者姓名： | 潘应君 陈淑花 张细菊 吴新杰 |
| 摘 要： | 采用等离子体化学气相沉积(PCVD)技术，以AlCl3作铝源在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AlN薄膜，探讨了不同沉积时间和温度对薄膜硬度的影响，并对AlN薄膜的耐蚀性进行了研究。试验结果表明，经500～550℃沉积4h，可以在不锈钢表面得到组织致密的AlN薄膜，其显微硬度最高可达1750HV0．025，在HCl溶液中的耐蚀性超过未镀膜的1Cr18Ni9不锈钢。 |
| 关 键 词： | 等离子体化学气相沉积 AlN薄膜 不锈钢 耐蚀性 |
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