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| 基于MEMS的固态风速风向传感器及其最优结构参数 | |
| 作者姓名： | 杨帆 赵湛 杜利东 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190;中国科学院研究生院,北京,100190;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190 |
| 摘 要： | 基于圆柱绕流的理论分析给出圆柱体周边压强分布方程,并据此提出了一种新型的基于MEMS的固态风速风向传感器结构.建立了其内部流体流动的理论模型,并利用该模型进行数值计算得到了这种传感器的最优结构参数.分析表明,利用相互正交的MEMS风速传感器测量风向是可行的,并且具有多个通风孔结构的传感器可以有更高的精度. |
| 关 键 词： | 物理量传感器 结构参数 圆柱绕流 风速风向传感器 MEMS |
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