| 基于电子束探测技术的VLSI路径延时故障测试方法 |
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| 引用本文： | 吴齐发,孙义和. 基于电子束探测技术的VLSI路径延时故障测试方法[J]. 微电子学, 1999, 29(6): 402-406 |
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| 作者姓名： | 吴齐发 孙义和 |
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| 作者单位： | 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家“九五”科技攻关项目!(97-760-02-01)，国防科技基金!(98Js03.1.JW0101)资助项目 |
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| 摘 要： | ![]()
介绍了将电子束探测（ＥＢ－Ｐ）技术应用于路径延时故障的测试。首先用ＥＢ－Ｐ的工作原理和实验结果说明了用ＥＢ－Ｐ测量路径延时的可行性；随后讨论了一种将ＥＢ－Ｐ用作测试点的测试点插入技术。
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| 关 键 词： | 电子束探测 路径延时 故障 VLSI 测试 |
| 修稿时间： | 1999-04-06 |
VLSI Path Delay Fault Test Method Based on Electron-Beam Probe Technology |
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| WU Qi-fa,SUN Yi-he. VLSI Path Delay Fault Test Method Based on Electron-Beam Probe Technology[J]. Microelectronics, 1999, 29(6): 402-406 |
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| Authors: | WU Qi-fa SUN Yi-he |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | Electronic beam probe Path delay fault VLSI |
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