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| VO2/Al2O3复合膜系的制备及其相变特性 | |
| 引用本文： | 路远,凌永顺,王辉,乔亚.VO2/Al2O3复合膜系的制备及其相变特性[J].半导体光电,2015,36(3). |
| 作者姓名： | 路远 凌永顺 王辉 乔亚 |
| 作者单位： | 电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室,合肥230037;电子工程学院安徽省红外与低温等离子体重点实验室,合肥230037;中国空空导弹研究院,河南洛阳,471009 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | Al2O3薄膜 VO2薄膜 封装 相变 |
Fabrication of VO2/Al2O3 Multi-film System and Its Phase Transition Characteristics |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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