有关真空检漏系统几个参数的探讨 |
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引用本文: | 关奎之,孙广生.有关真空检漏系统几个参数的探讨[J].真空,1985(2). |
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作者姓名: | 关奎之 孙广生 |
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作者单位: | 东北工学院
(关奎之),东北工学院(孙广生) |
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摘 要: | 在真空检漏元件的灵敏度满足需要的前提下,真空检漏系统直接影响检漏的准确性和可靠性。本文分析了真空检漏的基本原理、有关响应的数据和图线,提出了有关真空检漏系统几个参数的探讨意见。 一、试件处真空检漏方程式 1.检漏方程式 一般的真空检漏系统如图1所示。设试件的总漏率为Q托·升/秒,而某个漏孔漏率为q/托·升/秒,该漏孔对示气和空气漏率比为 k,扩散泵对示气和空气抽速之比为n1(n1=S示/S)。当示气对准漏孔q施气时,系统中空气和示气的压力均将变化。若检漏器对示气和空气的灵敏度之比为f,则检漏器所显示的总压力读数为 P=P1+fP2( …
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