化学热处理工艺要领浅析(四) |
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引用本文: | 胡以正.化学热处理工艺要领浅析(四)[J].现代制造工程,1982(12). |
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作者姓名: | 胡以正 |
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作者单位: | 武汉材料保护研究所 |
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摘 要: | 一、化学气相沉积(CVD)十几年来,用化学气相沉积法在硬质合金、工具钢、模具钢等基础上建立的涂层,有碳化物,氪化物,碳氮化合物、氧化物、硼化物,硅化物和多层复合涂层等八大类。在六、七十种涂层中,国内外应用较广的是碳化钛和氮化钛涂层。1.碳化物涂层钛、钒、铬等碳化物层的气相沉积,通常以氢气
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