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1.5μm InGaAsP/InP双异质结激光器液相外延中液相组分调整对晶格失配及发射波长的影响
引用本文:段宁东,陈军.1.5μm InGaAsP/InP双异质结激光器液相外延中液相组分调整对晶格失配及发射波长的影响[J].半导体光电,1983(4).
作者姓名:段宁东  陈军
作者单位:成都电讯工程学院,重庆光电技术研究所 工程师
摘    要:本文描述了在(100)InP衬底上用液相外延(LPE)方法生长In_(1-x)Ga_xAs_yP_(1-y),外延层时,液相组分X_(Ga)~l、X_(A5)~l变化对外延片晶格失配及发射波长的影响,以及生长温度变化对晶格失配的影响。并对实验结果进行了简单的理论上的分析和探讨。

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