| 非金属掺杂类金刚石膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 郭延龙,孙有文,王淑云,王小兵,程勇,卢常勇.非金属掺杂类金刚石膜的研究进展[J].激光与光电子学进展,2009,46(4). |
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| 作者姓名： | 郭延龙 孙有文 王淑云 王小兵 程勇 卢常勇 |
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| 作者单位： | 1. 武汉军械士官学校光电技术研究所,湖北,武汉,430075
2. 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031 |
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| 摘 要： | 非金属掺杂类金刚石(DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的一些性能.例如:掺磷DLC膜电阻率小,还可以明显提高其血液相容性;掺氮DLC膜不仅电阻率小,可作为半导体材料.还具有热稳定性好的优点;掺氟DLC膜在憎水性、耐蚀性、热稳定性和降低介电常数等方面更为优异;硅掺杂使膜中氢含量减少、内应力减小、粗糙度和摩擦系数降低.对非金属掺杂DLC膜的进展做了概括及分析,展现出其广泛的应用前景.
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| 关 键 词： | 薄膜 类金刚石膜 非金属掺杂类金刚石膜 保护膜 |
Research Progress of Nonmetal Doped Diamond-Like Carbon Films |
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| Guo Yanlong,Sun Youwen,Wang Shuyun,Wang Xiaobing,Cheng Yong,Lu Changyong.Research Progress of Nonmetal Doped Diamond-Like Carbon Films[J].Laser & Optoelectronics Progress,2009,46(4). |
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| Authors: | Guo Yanlong Sun Youwen Wang Shuyun Wang Xiaobing Cheng Yong Lu Changyong |
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