真空蒸发钛薄膜的电阻温度系数 |
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引用本文: | 郑海涛.真空蒸发钛薄膜的电阻温度系数[J].真空科学与技术学报,1981(6). |
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作者姓名: | 郑海涛 |
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作者单位: | 西安交通大学 |
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摘 要: | 在“弹性流体动压润滑接触”的研究中,需要测量两个滚动着的工件之间极小充油间隙里的温度,例如齿轮啮合的接触区域即属于这一情况。现有的传感器,由于体积过大及安装上的困难都无法使用。J·Ehlert等人提出了真空蒸发式传感器。把很薄的传感器(小于1微米)直接蒸发在待研究的滚动接触表面的测量位置上,就有可能在不影响润滑油流动及不改变工件表面的条件下,在润滑间隙中测量温度。由于钛薄膜在不高的温度范围内具有线性的电阻-温度特性及足够的温度灵敏度,同时还能经受动压润滑接触
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