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| 钛酸锶钡铁电薄膜的制备与性能优化研究 | |
| 引用本文： | 王波,杨传仁,陈宏伟,张继华,余桉,张瑞婷. 钛酸锶钡铁电薄膜的制备与性能优化研究[J]. 绝缘材料, 2007, 40(4): 24-28 |
| 作者姓名： | 王波 杨传仁 陈宏伟 张继华 余桉 张瑞婷 |
| 作者单位： | 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 摘 要： | 综述了目前钛酸锶钡(BST)铁电薄膜最为常用的4种制备工艺:磁控溅射法(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)、金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)。并介绍了在优化BST铁电薄膜性能方面所作的工作和取得的成果。 |
| 关 键 词： | 钛酸锶钡(BST) 铁电薄膜 制备工艺 性能优化 |
| 文章编号： | 1009-9239（2007）04-0024-05 |
| 修稿时间： | 2007-05-29 |
Status of Research on the Preparation and the Properties Optimization of BaxSr1-xTiO3 Ferroelectric Thin Films |
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| WANG Bo,YANG Chuan-ren,CHEN Hong-wei,ZHANG Ji-hua,YU An,ZHANG Rui-ting. Status of Research on the Preparation and the Properties Optimization of BaxSr1-xTiO3 Ferroelectric Thin Films[J]. Insulating Materials, 2007, 40(4): 24-28 | |
| Authors: | WANG Bo YANG Chuan-ren CHEN Hong-wei ZHANG Ji-hua YU An ZHANG Rui-ting |
| Affiliation: | State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
| Abstract: | Four kinds of preparation technologies of barium strontium titanate(BST)ferroelectric thin film are reviewed,including magnetron sputtering,pulsed laser deposition(PLD),sol-gel method and metallorganics chemical vapor deposition method(MOCVD).The studies and achievements in optimizing the properties of BST ferroelectric thin film are also introduced. |
| Keywords: | barium strontium titanate(BST) ferroelectric thin film preparation technologies properties optimization |
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