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| In_xGa_(1-x)As_yP_(1-y)/InP异质结的X射线衍射研究 | |
| 引用本文： | 王贤仁,阎卫萍,兰天,王绍平.In_xGa_(1-x)As_yP_(1-y)/InP异质结的X射线衍射研究[J].电子学报,1985(6). |
| 作者姓名： | 王贤仁 阎卫萍 兰天 王绍平 |
| 作者单位： | 吉林大学 长春 (王贤仁，阎卫萍，兰天)，吉林大学 长春(王绍平) |
| 摘 要： | 本文采用X射线衍射方法测定了在(001)取向的InP衬底上,用LPE法生长的InGaAsP外延层晶格完整性和应变状态,给出了InGaAsP/InP异质结X射线回摆曲线测量方法和测量结果,提出了用普通X射线衍射仪测量外延层晶格失配在实验方法上的改进,从而提供了在没有双晶衍射仪情况下,测量外延层晶格失配的可行途径。 |
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