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新构思硅红外探测器
引用本文:王迅,叶令,胡际璜.新构思硅红外探测器[J].半导体学报,1995,16(7):503-508.
作者姓名:王迅  叶令  胡际璜
作者单位:复旦大学表面物理国家重点实验室
摘    要:在Si衬底上用MBE方法进行n型与p型δ掺杂,将Si的能带调制成锯齿型结构,产生Si的带间跃迁.控制掺杂浓度与周期,来控制电子(空穴)跃迁的有效能隙,可望制成8-12μm波长的Si超晶格带间跃迁型红外探测器.

关 键 词:红外探测器    超晶格
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