| MEMS在惯性测量中的应用 |
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| 引用本文： | 李志信,罗小兵,过增元. MEMS在惯性测量中的应用[J]. 传感器与微系统, 2001, 20(7): 58-60 |
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| 作者姓名： | 李志信 罗小兵 过增元 |
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| 作者单位： | 清华大学 工程力学系, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;59995550-2; |
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| 摘 要： | 对MEMS在惯性测量中的应用状况进行了总结 ,介绍了加速度计和陀螺仪的基本工作原理和商业化情况 ,提出了我国发展微机械惯性传感器的一些发展思路
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 惯性测量 微加工加速度计 陀螺仪 |
| 文章编号： | 1000-9787(2001)07-0058-03 |
| 修稿时间： | 2001-05-30 |
Application of MEMS in inertial measurement |
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| LI Zhi-xin,LUO Xiao-bing,GUO Zeng-yuan. Application of MEMS in inertial measurement[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2001, 20(7): 58-60 |
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| Authors: | LI Zhi-xin LUO Xiao-bing GUO Zeng-yuan |
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| Abstract: | Application status of MEMS in inertial measurement is summarized, the basic principles of accelerometers and gyroscopes and their commercialization situation are briefly introduced, some ideas about development of micromachined inertial sensor in China are presented. |
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| Keywords: | micro electro-machenical systerm(MEMS) inertial measurement micromachined accelerometer gyroscope |
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