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| CMOS集成电路工艺评价及可靠性评估电路规范设计 | |
| 引用本文： | 恩云飞,孔学东.CMOS集成电路工艺评价及可靠性评估电路规范设计[J].电子产品可靠性与环境试验,1998(3):26-29. |
| 作者姓名： | 恩云飞 孔学东 |
| 作者单位： | 电子部五所重点实验室!广州，510610 |
| 摘 要： | 本文对ＣＭＯＳ集成电路工艺评价及可靠性评估电路规范设计技术进行了详细的论述，包括评估电路图形库的建立、版图布局的规范设计、测试试验方法规范化等，使工艺评价ＰＣＭ和可靠性评估ＲＥＭ测试结构发展成为工艺监测、工艺控制和可靠性评估的实用技术。 |
| 关 键 词： | CMOS PCM REM 规范设计 VLSI 可靠性 |
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