| S-520型扫描电镜故障分析与维修两例 |
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| 引用本文： | 刘廷礼,邱琴,庄汇文.S-520型扫描电镜故障分析与维修两例[J].分析仪器,2000(2):49-51. |
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| 作者姓名： | 刘廷礼 邱琴 庄汇文 |
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| 作者单位： | 1. 山东大学实验中心,济南,250100
2. 山东大学物资设备处,济南,250100 |
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| 摘 要： | 介绍了S－520型扫描电镜实际操作中出现的两种故障现象。对相关电路进行了简要分析。详细说明了故障的排除方法。
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| 关 键 词： | 扫描电镜 故障分析 维修 |
Diagnosis and cure of two troubles of S-520 scan electron microscope |
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| Liu Tingli,Qiu Qin,Zhuang Huiwen.Diagnosis and cure of two troubles of S-520 scan electron microscope[J].Analytical Instrumentation,2000(2):49-51. |
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| Authors: | Liu Tingli Qiu Qin Zhuang Huiwen |
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