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| 半导体硅材料的高速发展 | |
| 作者姓名： | 万群 |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院 |
| 摘 要： | 半导体硅材料的高速发展北京有色金属研究总院万群自１９９３年以来，以硅片为代表的半导体硅材料以两位数的年增长率在高速地发展着，至今方兴未艾。这种发展的背景、特点、趋势都是大家所关心的问题。－、市场现状及前景硅片的用途就是制作半导体器件，其中８０％左右是... |
| 关 键 词： | 半导体材料 硅片 |
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