| 用于振动能量收集的MEMS压电悬臂梁 |
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| 引用本文： | 伍晓明,方华军,林建辉,任天令,刘理天.用于振动能量收集的MEMS压电悬臂梁[J].功能材料与器件学报,2008,14(2):467-471. |
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| 作者姓名： | 伍晓明 方华军 林建辉 任天令 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种MEMS悬臂梁器件,将环境中的振动机械能转化为电能.该悬臂梁的主体材料为单晶硅,其上覆盖一层用Sol-Gel法制备的PZT压电材料,利用压电材料的正压电效应实现机电能量的转换.论文给出了悬臂梁式振动能量收集器的一个简单理论模型.器件采用(110)硅基片,有利于通过湿法腐蚀制备质量块.质量块可以用来降低器件的谐振频率,并提高输出电功率.尺寸参数为3600μm×270 μm的器件样品的测试结果表明,在其谐振频率1673Hz,振幅为11nm的振动条件下,该器件的最大输出功率大于1nW,即0.11 μW/cm2.
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| 关 键 词： | 振动能量收集 MEMS 压电 悬臂梁 |
| 文章编号： | 1007-4252(2008)02-0467-05 |
| 修稿时间： | 2007年7月20日 |
MEMS piezo cantilever for vibration energy harvesting |
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| WU Xiao-ming,FANG Hua-jun,LIN Jian-hui,REN Tian-ling,LIU Li-tian.MEMS piezo cantilever for vibration energy harvesting[J].Journal of Functional Materials and Devices,2008,14(2):467-471. |
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| Authors: | WU Xiao-ming FANG Hua-jun LIN Jian-hui REN Tian-ling LIU Li-tian |
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