| 激光清洗--微电子元件 |
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| 引用本文： | 宋峰,邹万芳,刘淑静,田彬.激光清洗--微电子元件[J].清洗世界,2006,22(1):38-43. |
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| 作者姓名： | 宋峰 邹万芳 刘淑静 田彬 |
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| 作者单位： | 南开大学,物理学院光子学中心,天津,300071 |
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| 摘 要： | 简单介绍了激光清洗在微电子领域应用的优势，分析了激光清洗微电子元件的主要机理以及影响微电子元件清洗的主要因素，最后指出了这方面的应用情况。
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| 关 键 词： | 细小微粒 近场光学聚焦 紫外激光 |
| 修稿时间： | 2005年12月9日 |
Laser cleaning-microelectronic element |
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| SONG Feng,ZOU Wanfang,LIU Shujing,TIAN Bin.Laser cleaning-microelectronic element[J].Cleaning World,2006,22(1):38-43. |
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| Authors: | SONG Feng ZOU Wanfang LIU Shujing TIAN Bin |
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| Abstract: | In this paper,the advantage of the laser-cleaning for removal of small particles on the microelectronic element,was simply summarized.Then its mechanism and main influence factors were discussed.Finally the applications were also introduced. |
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| Keywords: | small particles near-field optical focusing effects ultraviolet laser |
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