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| 超声键合技术用于水晶压力传感器 | |
| 引用本文： | 陈秀英,张秀珍.超声键合技术用于水晶压力传感器[J].传感器与微系统,1991(2):34-35. |
| 作者姓名： | 陈秀英 张秀珍 |
| 作者单位： | 机电部第49所 (陈秀英)，国营8233厂 (张秀珍，武树岭，李伟)，国营8233厂(肖富斌) |
| 摘 要： | <正> 因为铝电极的声阻抗与水晶的声阻抗比较匹配,所以水晶表面波压力传感器大都使用铝电极。可是,若机械地照搬晶体管和固态压力传感器的热压键合工艺,利用硅铝丝作为引线材料进行热压,那么由于硅铝丝和铝膜外面有一层氧化膜不易去除,使焊接点出现假焊而不牢;倘若采用金丝作引线,那么在高温工作时焊接处将 |
| 关 键 词： | 超声键合技术 水晶 压力传感器 |
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