| 正压漏孔校准装置的研制 |
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| 引用本文： | 王金锁,许红,胡央丽,唐景远.正压漏孔校准装置的研制[J].真空科学与技术学报,2004,24(6):439-441. |
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| 作者姓名： | 王金锁 许红 胡央丽 唐景远 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,上海,200030
2. 上海市计量测试技术研究院,上海,200040 |
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| 摘 要： | 作者对正压漏孔校准方法作了研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,建立了一套改进型的PΔV/t漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析.该装置校准范围1×10-4 Pa m3/s～1×10-7 Pa m3/s,在漏率2×10-6 Pa m3/s时系统总误差小于4.0%.
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| 关 键 词： | 正压漏孔 系统总误差 漏率 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)06-0439-03 |
| 修稿时间： | 2004年1月5日 |
Development of Pressure Leak Calibration System |
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| Wang Jinsuo,Xu Hong,Hu Yangli and Tang Jingyuan.Development of Pressure Leak Calibration System[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(6):439-441. |
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| Authors: | Wang Jinsuo Xu Hong Hu Yangli and Tang Jingyuan |
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| Affiliation: | Wang Jinsuo1,Xu Hong2,Hu Yangli2 and Tang Jingyuan2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Pressure leak Overall systematic errors Leak rate |
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