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实现多层混合刻蚀薄膜大面积均匀的方法浅探讨
作者姓名:
戴建国 凌一鸣
摘 要:
采用多层光刻工艺结合氩离子铣的混合刻蚀方法,刻蚀高Tc超导YBaCuO/ZrO2(100)薄膜图形,取得了较好的结果,在进行氩离子铣的工艺步骤中,使用普通氩离子铣设备,但采取了一定的措施-使被刻样吕在刻蚀台座上可移动。
关 键 词:
氩离子铣 多层光刻工艺 超导薄膜器件
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