| 弹性悬臂微梁谐振系统挤压膜阻尼新解析模型 |
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| 引用本文： | 李普,胡如夫,尹垚.弹性悬臂微梁谐振系统挤压膜阻尼新解析模型[J].振动与冲击,2008,27(3):1-5. |
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| 作者姓名： | 李普 胡如夫 尹垚 |
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| 作者单位： | 东南大学机械工程学院,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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东南大学青年教师教学科研资助计划 |
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| 摘 要： | 正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的.过去,弹性悬臂微梁挤压膜阻尼的解析计算一般采用Darling等提出的模型.但基于格林函数法的Darling模型简化了流-固耦合关系.从弹性微梁振动方程和雷诺方程的耦合关系出发,提出了新的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼解析计算模型,导出了解析形式的等效阻尼系数和等效刚度系数.这两个系数完全由梁和挤压膜气体的物理性质决定.最后,通过与Vignola实验结果、Darling模型计算结果、ANSYS/FLOTRAN计算结果相比表明,所提出模型的计算精度有较明显的提高.
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| 关 键 词： | 挤压膜 弹性悬臂微梁 MEMS 弹性 悬臂 微梁 谐振系统 压膜阻尼 解析模型 MICROBEAM CANTILEVER FLEXIBLE DAMPING FILM SQUEEZE MODEL 计算精度 FLOTRAN ANSYS 结果 实验 物理性质 气体 |
| 修稿时间： | 2007年4月2日 |
ANALYTICAL MODEL FOR SQUEEZE FILM DAMPING OF FLEXIBLE CANTILEVER MICROBEAM |
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| LI Pu,HU Ru-fu,YIN Yao.ANALYTICAL MODEL FOR SQUEEZE FILM DAMPING OF FLEXIBLE CANTILEVER MICROBEAM[J].Journal of Vibration and Shock,2008,27(3):1-5. |
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| Authors: | LI Pu HU Ru-fu YIN Yao |
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