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| 滚型纳米压印模具变形机理的研究 | |
| 引用本文： | 兰红波,徐方超,李增辉,梁森,丁玉成. 滚型纳米压印模具变形机理的研究[J]. 机械工程学报, 2015, 0(7) |
| 作者姓名： | 兰红波 徐方超 李增辉 梁森 丁玉成 |
| 作者单位： | 1. 青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室青岛 266033; 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安 710049 2. 青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室青岛 266033 3. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安 710049 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金纳米制造的基础研究重大研究计划，国家自然科学基金，教育部新世纪优秀人才计划，青岛市创业创新领军人才计划 |
| 摘 要： | 滚型纳米压印是一种高效、低成本批量化制造大面积微纳米结构的方法,已经被看成是最具有工业化应用前景的微纳米制造方法之一,同时也被认为是实现纳米压印技术从实验室到工业化应用的一个重要突破口。开展滚型纳米压印过程中模具变形机理和规律的研究,提出滚型纳米压印两种理论模型,揭示柔性接触滚轮模具变形的机理、规律和主要影响因素,阐述硬质接触和柔性接触两种压印方式显著区别和特点。该研究为探索减小弹性滚轮模具变形策略和方法,滚型纳米压印工艺要素的优化,以及提高滚型纳米压印复型精度和压印效率奠定了理论基础。 |
| 关 键 词： | 纳米压印 模具变形 滚轮模具 柔性接触 纳米制造 |
Mold Deformation in Roller-type Nanoimprint Lithography |
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| LAN Hongbo,XU Fangchao,LI Zenghui,LIANG Sen,DING Yucheng. Mold Deformation in Roller-type Nanoimprint Lithography[J]. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2015, 0(7) | |
| Authors: | LAN Hongbo XU Fangchao LI Zenghui LIANG Sen DING Yucheng |
| Abstract: | |
| Keywords: | nanoimprint lithography mold deformation roller mold flexible contact nanomanufacturing |
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