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纳米钼粉制备用高频感应等离子体装置的设计与优化
引用本文:喻明浩,吕博,邱泽洋,李益文,安志斌,陈戈.纳米钼粉制备用高频感应等离子体装置的设计与优化[J].机械设计,2023(11):99-105.
作者姓名:喻明浩  吕博  邱泽洋  李益文  安志斌  陈戈
作者单位:1. 西安理工大学机械与精密仪器工程学院;2. 空军工程大学等离子体动力学重点实验室
基金项目:国家自然科学基金面上项目(12175177);
摘    要:针对制备纳米钼粉的设备普遍存在能耗高和可操作性低的问题,文中设计了一种高频感应等离子体装置,并对多处结构进行了优化。设备使用10 kW电源,具有功率低和体积小的特点;进料器为分离式结构,可以均匀加料且无振动干涉;进料器与反应器用卡套式管接头连接,使用标准零件,连接牢固且成本低;反应器的边气和反应气进口各2个,冷却水进口有3个,进气和冷却都更均匀,冷却范围覆盖整个等离子体区域,可有效避免石英管过热损坏;收集器是双层结构,外层是箱体,内层是过滤网和收集皿,收集皿从箱体底部安装,卸料时打开收集皿底部的卸料孔即可,操作简单方便。

关 键 词:纳米钼粉  等离子体  分离式结构  双层结构
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