阿特拉斯·科普柯组合压缩机应用于电子气领域期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

阿特拉斯·科普柯组合压缩机应用于电子气领域

摘要：	正电子气是集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料。在液晶显示器件、半导体制造工艺中所需的普通电子气有氮气、氧气、氩气和氢气等,作为载体和保护气体。近年来阿特拉斯·科普柯气体与工艺部为一些世界知名气体公司新建的众多大型空分装置配
本文献已被 CNKI 等数据库收录！