| MOEMS光开关动力学过程分析 |
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| 引用本文： | 孙东明,董玮,郭文滨,刘彩霞,王国东,徐宝琨,陈维友.MOEMS光开关动力学过程分析[J].半导体学报,2005,26(7):1448-1453. |
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| 作者姓名： | 孙东明 董玮 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 |
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| 作者单位： | 吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130012;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130012;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130012;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130012;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130012;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130012;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130012 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家自然科学基金
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吉林省科技发展计划 |
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| 摘 要： | 采用静电力驱动方式的MOEMS光开关，从运动机制上来说，是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果．对于微驱动器驱动条件的研究，不能单纯地从力矩平衡的角度来分析，应从动力学出发，才能较好地描述其运动过程，得到精确的驱动条件分析结果．本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发，介绍了动力学分析方法的过程．通过数值求解方程，得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果，将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来，从而达到确定光开关静电驱动条件的目的．
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| 关 键 词： | MOEMS 动力学分析 角速度 倾斜下电极 |
| 文章编号： | 0253-4177（2005）07-1448-06 |
| 收稿时间： | 2004-10-15 |
| 修稿时间： | 2004-12-06 |
Characteristic on Dynamic Response of a MOEMS Optical Switch |
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| Sun Dongming,Dong Wei,Guo Wenbin,Liu Caixia,Wang Guodong,Xu Baokun,Chen Weiyou.Characteristic on Dynamic Response of a MOEMS Optical Switch[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(7):1448-1453. |
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| Authors: | Sun Dongming Dong Wei Guo Wenbin Liu Caixia Wang Guodong Xu Baokun Chen Weiyou |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MOEMS dynamic analysis angular speed slant lower electrode |
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