| 一种利用电涡流效应的微孔直径和深度测量方法 |
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| 引用本文： | 牛国钰,潘巧生,万澳德,陈立蔚.一种利用电涡流效应的微孔直径和深度测量方法[J].电子测量与仪器学报,2023,37(10):123-133. |
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| 作者姓名： | 牛国钰 潘巧生 万澳德 陈立蔚 |
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| 作者单位： | 1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，2. 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金面上项目(52175533)、安徽省重点研发计划(202104h04020025)项目资助 |
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| 摘 要： | 为实现微孔直径和深度非接触式测量,提出一种利用电涡流效应的测量方法,由单层多匝线圈构成的测量线圈在目标
体上方匀速经过被测微孔过程中,测量线圈电感值变化的时间与微孔的直径成正比;测量线圈电感峰值与微孔直径的二次方具
有线性关系,该线性关系的斜率与微孔的深度成正比。 根据等效涡流环模型,建立测量线圈电感值与微孔直径和深度之间的数
学模型,利用 COMSOL 有限元仿真,分析测量过程中微孔直径和深度对测量线圈电感值的影响规律,仿真结果与等效涡流环模
型分析结果一致。 搭建微孔直径和深度的电涡流测量系统,实现直径 1. 5~ 5 mm,深度 0. 1 ~ 0. 5 mm 的微孔测量。 当微孔直径
大于 3 mm,微孔深度大于 0. 3 mm 时,微孔直径测量相对误差在±2%内。 微孔深度的测量分辨率为 0. 01 mm,在微孔直径大于
2. 5 mm 时,微孔深度的测量误差小于 0. 02 mm。
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| 关 键 词： | 微孔测量 电涡流效应 测量线圈 |
Micro-hole diameter and depth measurement method utilizing eddy current effect |
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| Niu Guoyu,Pan Qiaosheng,Wan Aode,Chen Liwei.Micro-hole diameter and depth measurement method utilizing eddy current effect[J].Journal of Electronic Measurement and Instrument,2023,37(10):123-133. |
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| Authors: | Niu Guoyu Pan Qiaosheng Wan Aode Chen Liwei |
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| Affiliation: | 1. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering, Hefei University of Technology,2. Anhui Province Key Laboratory of Measuring Theory and Precision Instrument |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microporous measurement eddy current effect coil of measurement |
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