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| 并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 | |
| 引用本文： | 郑秀红,胡静涛.并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究[J].半导体技术,2012,37(11). |
| 作者姓名： | 郑秀红 胡静涛 |
| 作者单位： | 沈阳化工大学 计算机科学与技术学院,沈阳,110142;中国科学院 沈阳自动化研究所 信息服务与智能控制研究室,沈阳,110016 |
| 基金项目： | 国家科技重大专项;国家重点基础研究发展计划（973计划） |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 并行 集束型装备 吞吐量 模型 晶圆 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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