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分类号
杂志ISSN号
GaN上的欧姆接触
作者姓名:
施锦行
摘 要:
主要描述在n型和p型GaN上制备欧姆接触的方法,分析了欧姆接触的特性及其形成机理,并讨论了该领域未来的研究趋势。
关 键 词:
氮化镓 欧姆接触 接触电阻率 功函数
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