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金刚石线锯的研究现状与进展
引用本文:周锐,李剑峰,李方义,路冬. 金刚石线锯的研究现状与进展[J]. 现代制造工程, 2004, 0(6): 112-115
作者姓名:周锐  李剑峰  李方义  路冬
作者单位:济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061;济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061;济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061;济南市经十路73号山东大学机械学院,济南,250061
基金项目:山东省优秀中青年科学家科研奖励基金资助项目 (0 2BS0 66)
摘    要:金刚石线锯能够对硬脆材料进行精密、窄锯缝切割 ,已逐渐取代内圆锯 ,广泛应用于半导体和光电池切片加工 ,并在陶瓷、石英、木材等加工中显示出独特优势。对国内、外金刚石线锯研究现状进行总结 ,介绍该技术的最新进展

关 键 词:金刚石线锯  硬脆材料
文章编号:1671-3133(2004)06-0112-04
修稿时间:2004-01-16

The research actualities and development of the diamond wire saw
Zhou Rui,Li Jianfeng,Li Fangyi,Lu Dong. The research actualities and development of the diamond wire saw[J]. Modern Manufacturing Engineering, 2004, 0(6): 112-115
Authors:Zhou Rui  Li Jianfeng  Li Fangyi  Lu Dong
Abstract:Diamond wire saw can critically slice hard-brittle material with low kerf-loss.Diamond wire machining is emerging as a leading technology for wafer production in semiconductor and photovoltaic industry.It is a potential method for the machining of ceramics,quartz,stone,etc.A survey of published work is provided,and the state-of -the-art development of diamond wire machining technologies is introduced.
Keywords:Diamond wire saw Hard-brittle material
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