| 一种水冷空腔电弧阴极 |
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| 引用本文： | 王殿儒,曹尔研,张福,田大准.一种水冷空腔电弧阴极[J].电子与信息学报,1983,5(6):407-408. |
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| 作者姓名： | 王殿儒 曹尔研 张福 田大准 |
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| 作者单位： | 中国科学院力学研究所
(王殿儒，曹尔研，张福)，北京光电技术研究所(田大准) |
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| 摘 要： | 正 大电流电子源是高功率氩离子激光器、离子镀膜装置、真空冶炼设备等的关键部件。目前多数是采用热阴极,现在介绍一种水冷杯状空腔电弧阴极。 设计空腔电弧阴极主要考虑:散热、绝缘、防止烧蚀、消除污染、限制弧斑运动、稳定电弧、启动电弧等因素。 本文设计的阴极如图1所示。图中1是水冷杯状金属空腔,其内壁面是阴极的发射面。在阴极出口孔内,装有自加热衬套2,用它来把阴极斑约束在空腔内。3是绝缘垫
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| 收稿时间： | 1982-08-03 |
A WATER-COOLED ARC CATHODE |
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| Wang Dian-Ru,Cao Er-Yan,Zhang Fu,Tian Da-Zhun.A WATER-COOLED ARC CATHODE[J].Journal of Electronics & Information Technology,1983,5(6):407-408. |
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| Authors: | Wang Dian-Ru Cao Er-Yan Zhang Fu Tian Da-Zhun |
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| Abstract: | This paper presents a water-cooled are cathode operating in a condition of lowpressure continuous discharge. It has been used successfully in a full metal argon ion laser and an ion plating equipment. |
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