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负离子注入机缝隙控制的设计实现
引用本文:
李康宁,李兴,王晓飞,游曲波,俞硕,张向阳,田利军,万继华,郭燕.负离子注入机缝隙控制的设计实现[J].中国原子能科学研究院年报,2007(1).
作者姓名:
李康宁
李兴
王晓飞
游曲波
俞硕
张向阳
田利军
万继华
郭燕
摘 要:
为提高负离子注入机控制系统的自动化水平,在调研吸收近几年来测控技术发展成果的基础上,完成了负离子注入机缝隙控制的设计实现。
关 键 词:
离子注入机
控制系统
设计
缝隙
自动化水平
测控技术
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