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精密和超精密加工技术
引用本文:王先逵.精密和超精密加工技术[J].机械工人(冷加工),2000(8):3-4,39.
作者姓名:王先逵
作者单位:清华大学精仪系制造工程研究所 100084
摘    要:1.精密和超精密加工的概念和形成 精密和超精密加工是在70年代提出的,在美国、日本和英国等国得到了重视和急速发展。精密和超精密加工从加工精度的角度反映了加工技术的发展,通常,将加工技术分为一般加工、精密加工和超精密加工三个阶段;有些国家的学者将它分为一般加工、高精度加工、精密加工和超精密加工四个阶段。对当前来说,精加工是指加工精度为1~0.1μm、表面粗糙度为R_a0.1~0.025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度小于R_a0.025μm的加工技术。这一定量数据是相对的,将随着加工技术的不断发展而改变,即过去的精密加工对今天来

关 键 词:精密加工  超精密加工  纳米加工  加工技术
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