| 厚膜永磁阵列微致动器的磁路研究 |
| |
| 引用本文： | 彭斌,蒋洪川,张文旭,张万里,杨仕清.厚膜永磁阵列微致动器的磁路研究[J].功能材料与器件学报,2003,9(4):453-456. |
| |
| 作者姓名： | 彭斌 蒋洪川 张文旭 张万里 杨仕清 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054 |
| |
| 基金项目： | 四川省稀土材料及应用工程研究中心基金支持 |
| |
| 摘 要： | 研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布，并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响。结果表明，厚膜永磁阵列单元高宽比和磁体单元间隔对微致动器电磁力影响较大磁徕单元高宽比为0．7是一个比较合适的尺寸。
|
| 关 键 词： | 厚膜永磁阵列微致动器 磁场分布 电磁力 磁路 微机电系统 |
| 文章编号： | 1007-4252(2003)04-0453-04 |
| 修稿时间： | 2003年2月24日 |
Study on magnetic circuit of thick film permanent magnet arrays micro- actuator |
| |
| PENG Bin,JIANG Hong - chuan,ZHANG Wen - xu,ZHANG Wan - li,YANG Shi - qing.Study on magnetic circuit of thick film permanent magnet arrays micro- actuator[J].Journal of Functional Materials and Devices,2003,9(4):453-456. |
| |
| Authors: | PENG Bin JIANG Hong - chuan ZHANG Wen - xu ZHANG Wan - li YANG Shi - qing |
| |
| Abstract: | The magnetic field distribution in thick film permanent arrays micro - actuator was computed, and the influence of geometry parameter of permanent magnets on electromagnetic force of micro - actuator was studied. The results show height - to - width ratio of thick permanent magnet film and the gap between magnets can greatly influence the performance of micro - actuator. The numeric results indicate that height - to - width ratio of 0. 7 are reasonable. |
| |
| Keywords: | permanent magnet arrays magnetic field distribution electromagnetic force micro - actuator |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
