|
|||||
|
|
| 基于不确定度分析的平面梳齿电容结构参数影响研究 | |
| 作者姓名： | 冯丹 陈彩辉 |
| 摘 要： | 基于平面梳齿电容检测单元在微科氏质量流量传感器中的应用,针对由于加工误差引起的结构尺寸不确定性及由于安装误差引起的静态位移等对平面梳齿电容检测性能的影响,本文采用蒙特卡罗方法建立了不确定度分析模型.得到各参数的不确定性对信号检测单元性能的相对影响及关键影响因素,对平面梳齿电容结构设计及优化提供参考. |
| 关 键 词： | 平面梳齿电容 信号检测 不确定度分析 |
|
||||||||||||||
|
||||||||||||||
|
||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |