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| Black方程中电流密度因子及精确测量技术的研究 | |
| 作者姓名： | 李志国 孙英华 邓燕 程尧海 郭伟玲 张万荣 张炜 |
| 作者单位： | 北京工业大学电子工程系 |
| 摘 要： | 本文对电迁徒参数电流密度因子ｎ及ｎ值的精确测量技术进行了深入研究。首镒提出了电流密度因子动态电流斜坡测试法。该方法与传统的ＭＴＦ法不同,利用专门设计的实验系统和实验样品,精确控制实验金属条湿,消除了高电流密度条件下焦耳热的影响,提高了ｎ值的测量精度与速度． |
| 关 键 词： | 电迁徒 n因子 可靠性 测量技术 半导体理论 |
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