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| 磁控反应溅射氮化钛薄膜特性研究 | |
| 作者姓名： | 罗维昂 章壮健 陈国荣 赵国庆 姜国宝 |
| 作者单位： | 复旦大学(罗维昂，章壮健，陈国荣，赵国庆)，复旦大学(姜国宝) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,5860345 |
| 摘 要： | 氮化钛薄膜由于具有许多有用的特性而受到人们日益广泛的注意。许多不同方法都曾用来生长氮化钛薄膜,其中包括化学气相淀积、活化反应蒸发、反应磁控溅射、空心阴极放电、离子镀等。溅射淀积得到的氮化钛薄膜具有较低的电阻、较细的晶粒微结 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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