| 一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计 |
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| 引用本文： | 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安.一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计[J].半导体学报,2007,28(11). |
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| 作者姓名： | 沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | 给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻,利用简单可靠的加工工艺实现了热隔离和高灵敏度.经过风洞风速风向测试,得知传感器的风速量程超过10m/s,360°范围内风向测量误差不超过8°.传感器的响应时间不超过1s,功耗为10mW.
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| 关 键 词： | MEMS 剥离工艺 风速 风向 流量传感器 |
Design of a 2D Thermal Wind Sensor Based on MEMS Process |
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| Shen Guangping,Wu Jian,Zhang Hua,Qin Ming,Huang Qing'an.Design of a 2D Thermal Wind Sensor Based on MEMS Process[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(11). |
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| Authors: | Shen Guangping Wu Jian Zhang Hua Qin Ming Huang Qing'an |
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