| 多层金属化系统中蓄水池效应对电迁移寿命的影响 |
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| 引用本文： | 郭春生,李秀宇,李志国,吴月花.多层金属化系统中蓄水池效应对电迁移寿命的影响[J].半导体学报,2007,28(Z1). |
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| 作者姓名： | 郭春生 李秀宇 李志国 吴月花 |
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| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100022 |
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| 摘 要： | 在W通孔的多层金属化系统中,金属离子的蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大,文中设计制作了12种不同的蓄水池结构,并进行了电迁移实验.着重考察蓄水池面积、通孔位置、通孔数目对互连线电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.
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| 关 键 词： | 互连线 蓄水池效应 电迁移 |
Reservoir Effect in Multi-Layer Metal System |
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| Guo Chunsheng,Li Xiuyu,Li Zhiguo,Wu Yuehua.Reservoir Effect in Multi-Layer Metal System[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(Z1). |
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| Authors: | Guo Chunsheng Li Xiuyu Li Zhiguo Wu Yuehua |
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