| 一种磁微执行器Pull-in模型 |
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| 引用本文： | 方玉明,黄庆安,李伟华.一种磁微执行器Pull-in模型[J].半导体学报,2007,28(10). |
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| 作者姓名： | 方玉明 黄庆安 李伟华 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;南京邮电大学光电工程学院,南京,210003
2. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，江苏省高校自然科学基金 |
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| 摘 要： | 与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题.对于宏观器件,由于磁芯磁阻可以忽略,所以可以利用电磁类比,得到Pull-in失稳参数.但对于微观器件,磁芯磁阻不可以忽略,也不可以利用电磁类比.文中首先采用力法对磁微执行器Pull-in的失稳现象进行了分析和建模,考虑了微磁芯磁阻,在建立磁微执行器动态小信号模型的基础上,导出了两个Pull-in失稳方程.通过求解这两个方程,可以得到Pull-in失稳电流和位置两个重要参数.然后又采用能量法研究了同样的Pull-in失稳现象,得出了和力法相同的结论.最后,给出了一个分析实例,以反映微磁芯磁阻对Pull-in的影响.文中的结论对于磁微执行器的设计具有重要意义.
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| 关 键 词： | 磁 微执行器 Pull-in |
A Model for the Pull-In Phenomenon of Magnetic Microactuators with the Reluctance of Magnetic Cores |
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| Fang Yuming,Huang Qing'an,Li Weihua.A Model for the Pull-In Phenomenon of Magnetic Microactuators with the Reluctance of Magnetic Cores[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(10). |
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| Authors: | Fang Yuming Huang Qing'an Li Weihua |
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