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| 投影光刻机调平调焦系统原理与故障分析 | |
| 引用本文： | 张文雅,赵英伟.投影光刻机调平调焦系统原理与故障分析[J].电子工业专用设备,2019,48(1):37-40. |
| 作者姓名： | 张文雅 赵英伟 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄,050051;中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄,050051 |
| 摘 要： | 以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。 |
| 关 键 词： | 调平 调焦 投影光刻机 |
The Principle and Fault Diagnosis for Leveling and Focusing System of Stepper |
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