|
|||||
|
|
| 基于SH-SAW谐振器的无线温度传感器研究北大核心CSCD | |
| 引用本文： | 房赛,彭斌,杨云涛,何鹏,朱加良.基于SH-SAW谐振器的无线温度传感器研究北大核心CSCD[J].仪表技术与传感器,2022(8):11-14. |
| 作者姓名： | 房赛 彭斌 杨云涛 何鹏 朱加良 |
| 作者单位： | 1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室610054;2.中国核动力研究设计院610213; |
| 摘 要： | 基于128°YX铌酸锂压电衬底设计制作了窄带、高Q值的水平剪切声表面波(SH-SAW)谐振器,研究了其温度特性,并基于该谐振器制作了无线温度传感器。研究结果表明,该SH-SAW谐振器在常温至250℃内保持良好的谐振性能,频率温度系数为-24.33 kHz/℃。基于该SH-SAW的无线温度传感器在常温至250℃温度范围内实现了温度的准确无线测试,测温误差为0.93%,且具有良好的重复性。 |
| 关 键 词： | 水平剪切声表面波 谐振器 铌酸锂 无线温度传感器 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |