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| 高温超导薄膜红外探测器研究 | |
| 引用本文： | 何军锋.高温超导薄膜红外探测器研究[J].陕西工学院学报,1999,15(4):54-55,59. |
| 作者姓名： | 何军锋 |
| 作者单位： | 陕西工学院基础课部,汉中 |
| 摘 要： | 文章系统阐述了高Ｔｃ ｂｏｌｏｍｅｔｅｒ的工作原理及性能优势；简要介绍了采用负胶光刻和湿法（化学）刻蚀技术在５×１０ｍｍ＾２ＧｄＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ薄膜上制备２×２阵列高Ｔｃ ｂｏｌｏｍｅｔｅｒ器件的工艺过程；并对此工艺优劣性进行了分析。 |
| 关 键 词： | 负胶光刻 化学刻蚀 高温超导薄膜红外探测器 |
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