新型功率器件IGBT研制 |
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引用本文: | 袁寿财.新型功率器件IGBT研制[J].半导体杂志,1996,21(2):5-10. |
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作者姓名: | 袁寿财 |
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作者单位: | 西安电力电子技术研究所 西安710061 |
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摘 要: | 本文简述了IGBT的设计技术和制造工艺,对IGBT的I-V特性,开关特性及闩锁效应进行了系统的研究,结合实施工艺对IGBT的版 图及工艺进行了优化设计。合作开发了适于制作IGBT的异型厚外延材料,成功地制了10A/800V,20A/1050V的IGBT芯片,给出了试制样品的测试结果。
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关 键 词: | IGBT VDMOS 半导体功率器件 |
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