| RF MEMS的关键技术与器件 |
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| 引用本文： | 夏牟,郝达兵. RF MEMS的关键技术与器件[J]. 电子与封装, 2006, 6(1): 35-39 |
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| 作者姓名： | 夏牟 郝达兵 |
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| 作者单位： | 徐州空军学院,江苏,徐州,221000;南京电子器件研究所,江苏,南京,210016 |
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| 摘 要： | 文章介绍了RF MEMS的基本概念、基本特征与关键工艺技术。文章在介绍了RF-MEMS 元器件的基础上,对RF MEMS与MMIC进行了比较,分析了RF MEMS需解决的重点问题。最后对 RF MEMS的发展前景进行了展望。
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| 关 键 词： | RF MEMS 加工技术 元器件 MMIC |
| 文章编号： | 1681-1070（2006）01-35-05 |
| 收稿时间： | 2005-10-20 |
| 修稿时间： | 2005-10-20 |
Key Technology and Devices of RF MEMS |
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| Xia Mu,Hao Da-bing. Key Technology and Devices of RF MEMS[J]. Electronics & Packaging, 2006, 6(1): 35-39 |
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| Authors: | Xia Mu Hao Da-bing |
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| Abstract: | Basic concept , feature and key process of RF MEMS are introduced in this paper and RF MEMS are compared with MMIC based on devices .Then, the key problems of RF MEMS to be solved are analyzed and the development of RF MEMS is prospected. |
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| Keywords: | RF MEMS MMIC |
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