| 铸造多晶硅中热施主形成规律 |
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| 引用本文： | 俞征峰,席珍强,杨德仁,阙端麟.铸造多晶硅中热施主形成规律[J].太阳能学报,2005,26(4):581-584. |
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| 作者姓名： | 俞征峰 席珍强 杨德仁 阙端麟 |
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| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然基金项目（50032010）;云南省省院省校科技合作专项经费资助项目 |
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| 摘 要： | 采用四探针电阻率测试仪和傅立叶红外光谱测试仪，研究了铸造多晶硅中热施主的形成规律。实验发现，初始氧浓度高、位错密度高、碳含量低的样品中，所形成的热施主浓度较高。这表明：碳对热施主的形成有抑制作用；位错对热施主的形成有促进作用；晶界对热施主的形成没有明显地影响，而且碳和初始氧浓度的影响最大。实验还发现，在650℃,0.5h退火处理可以消除部分原生热施主，原生热施主对于随后的热施主的形成规律没有明显影响。
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| 关 键 词： | 铸造多晶硅 氧 热施主 |
| 文章编号： | 0254-0096（2005）04-0581-04 |
| 收稿时间： | 2003-11-13 |
| 修稿时间： | 2003-11-13 |
THE FORMATION BEHAVIOR OF THERMAL DONORS IN CAST MULTICRYSTALLINE SILICON |
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| Yu Zhengfeng,Xi Zhenqiang,Yang Deren,Que Duanlin.THE FORMATION BEHAVIOR OF THERMAL DONORS IN CAST MULTICRYSTALLINE SILICON[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2005,26(4):581-584. |
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| Authors: | Yu Zhengfeng Xi Zhenqiang Yang Deren Que Duanlin |
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| Keywords: | cast multicrystalline silicon oxygen thermal donor |
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